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标准简介
光致发光法测定磷镓砷晶片的组分
Test methods for measurement of composition of gallium arsenide phosphide wafers by photoluminescence
基础信息
  • 标准号: SJ/T 11492-2015
  • 发布日期: 2015/4/30
  • 实施日期: 42278
  • 中国标准分类号: H83
  • 中国标准分类号: 29.045
  • 归口单位: 全国半导体材料和设备标准化技术委员会(TC203)
  • 主管部门: 工业和信息化部(电子)
起草单位
信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、中国科学院半导体研究所、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司
起草人