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标准简介
光致发光法测定磷镓砷晶片的组分
Test methods for measurement of composition of gallium arsenide phosphide wafers by photoluminescence
标准状态
基础信息
  • 标准号： SJ/T 11492-2015
  • 发布日期： 2015/4/30
  • 实施日期： 42278
  • 中国标准分类号： H83
  • 中国标准分类号： 29.045
  • 归口单位： 全国半导体材料和设备标准化技术委员会（TC203）
  • 主管部门： 工业和信息化部（电子）
起草单位
信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、中国科学院半导体研究所、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司
起草人