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行业标准
光致发光法测定磷镓砷晶片的组分
目录
1.标准简介
2.标准状态
3.基础信息
4.起草单位
5.起草人
标准简介
光致发光法测定磷镓砷晶片的组分
Test methods for measurement of composition of gallium arsenide phosphide wafers by photoluminescence
标准状态
发布于2015/4/30
实施于42278
废止
基础信息
标准号:
SJ/T 11492-2015
发布日期:
2015/4/30
实施日期:
42278
中国标准分类号:
H83
中国标准分类号:
29.045
归口单位:
全国半导体材料和设备标准化技术委员会(TC203)
主管部门:
工业和信息化部(电子)
起草单位
信息产业专用材料质量监督检验中心、工业和信息化部电子工业标准化研究院、中国科学院半导体研究所、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司
起草人